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引用本文格式: Xia ting,Yang Chaowen,Ren Jiankun,Li Xinxi,Wang Yan,Huang Chaoqiang. Neutron Reflection and Elastic Recoil Detection Characterization of the Hydrogen-Helium-Containing Zirconium Films [J]. J. At. Mol. Phys., 2019, 36: 976 (in Chinese) [夏婷,杨朝文,任建坤,李新喜,王燕,黄朝强. 含氢氦锆膜的中子反射及弹性反冲探测表征 [J]. 原子与分子物理学报, 2019, 36: 976]
 
含氢氦锆膜的中子反射及弹性反冲探测表征
Neutron Reflection and Elastic Recoil Detection Characterization of the Hydrogen-Helium-Containing Zirconium Films
摘要点击 94  全文点击 13  投稿时间:2019-02-05  修订日期:2019-03-06
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DOI编号   
中文关键词   锆膜  磁控溅射  中子反射  弹性反冲探测  真空退火
英文关键词   Zirconium film  magnetron sputtering  neutron reflection  elastic recoil detection  vacuum annealing
基金项目   中国工程物理研究院院长基金
作者单位E-mail
夏婷 四川大学 x_ting0802@163.com;1179453744@qq.com 
杨朝文 四川大学 ycw@scu.edu.cn 
任建坤 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 jkren1983@163.com 
李新喜 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 hkllxx@sina.com 
王燕 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 wangyan3591@163.com 
黄朝强 中国工程物理研究院核物理与化学研究所 C.Q.Huang@163.com;huangcq@caep.cn 
中文摘要
    采用直流磁控溅射方法制备含氢氦的锆膜,利用中子反射和弹性反冲探测两种方法分别对样品中的氢、氦分布以及浓度进行表征,并探究了不同温度退火处理后H、He的分布变化。实验结果表明:中子反射与弹性反冲探测两种方法的表征结果具有很好的一致性,H、He在锆层中近似均匀分布,氦浓度与溅射的He/Ar比成正比。300℃退火处理1h后,样品中的H从Zr层向外迁移和释放,且这种现象随退火温度升高到500℃时更加明显。
英文摘要
    The Zirconium films containing hydrogen and helium are prepared by DC magnetron sputtering, and the concentrations and distributions of hydrogen and helium are characterized by neutron reflection and elastic recoil detection technology. Changes of hydrogen and helium depth distribution in samples under annealed at different temperature are also investigated. The results show that the information of He and H obtained from neutron reflectometry is consistent with that from elastic recoil detection, H and He atoms are homogeneously distributed in the Zr layer, and the helium concentration increases with increasing of the He/Ar ratio of ambient atmosphere. H atoms migrate and release from the Zr film annealed at 300℃ for an hour, which is more obvious as the annealing temperature elevated above 500℃.

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